TF-3000全自动检测分选机
产品简介
TF-3000全自动检测分选机是根据光伏产业和国际半导体产业的发展及市场需求而开发研制的新型自动化设备。可通过高效准确的非接触式测试仪器对硅片及类似产品进行检测分析并进行自动分选。
该设备可根据用户需要搭载多种检测模组，如：厚度、电阻率、少子寿命等，用户可以对硅片等产品的各种质量参数进行定义。
性能、技术参数
工艺特点
控制系统
碎片检测系统
插片机平面布置图
主要零部件配置
技术支持和服务要求
产能 | 300片/时（p/h） | |
硅片尺寸 | 125mm-210mm | |
硅片规格 | 多晶硅/单晶硅 | |
测试范围 | 厚度 | 100-1500μm |
电阻率 | 0.3-15 Ohm cm | |
误差率 | 厚度 | <1%（+5μm/-5μm） |
电阻率 | <5% | |
| 0.1-1000μs | |
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